Résumé
We present a new design of the Nomarski interferometer, which can measure displacements of several microns, with a resolution better than 10-13 m/√Hz. In the standard design this sensitivity can be achieved only within a 100 nm displacement range. One main advantage of this new set-up of the interferometer is the total independence of the measure sensitivity on the interferometer thermal drifts.
| langue originale | Anglais |
|---|---|
| Pages (de - à) | 49-56 |
| Nombre de pages | 8 |
| journal | Optics Communications |
| Volume | 207 |
| Numéro de publication | 1-6 |
| Les DOIs | |
| état | Publié - 15 juin 2002 |
| Modification externe | Oui |
Empreinte digitale
Examiner les sujets de recherche de « Differential interferometry with a complex contrast ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.Contient cette citation
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