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Experimental study and simulation of a micro-discharge with limited cathode area

  • T. Dufour
  • , L. J. Overzet
  • , R. Dussart
  • , L. C. Pitchford
  • , N. Sadeghi
  • , P. Lefaucheux
  • , M. Kulsreshath
  • , P. Ranson

Résultats de recherche: Contribution à un journalArticleRevue par des pairs

Résumé

We report in this paper simulation results and experimental measurements to characterize a micro-discharge generated in a single micro cavity device operating in helium. By spatially limiting the cathode surface area using a dielectric layer, we demonstrate the ability of the micro-discharge to work in a steady-state abnormal glow regime. The physical properties of this regime are discussed.

langue originaleAnglais
Pages (de - à)565-574
Nombre de pages10
journalEuropean Physical Journal D
Volume60
Numéro de publication3
Les DOIs
étatPublié - 1 janv. 2010
Modification externeOui

Empreinte digitale

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