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High tensile strain transfer into germanium microdisks using all-around strained SiN

  • Abdelhamid Ghrib
  • , Moustafa El Kurdi
  • , Mathias Prost
  • , Sébastien Sauvage
  • , Grégoire Beaudoin
  • , Ludovic Largeau
  • , Marc Chaigneau
  • , Razvigor Ossikovski
  • , Isabelle Sagnes
  • , Philippe Boucaud
  • CNRS
  • STMicroelectronics SA, France
  • Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies

Résultats de recherche: Le chapitre dans un livre, un rapport, une anthologie ou une collectionContribution à une conférenceRevue par des pairs

Résumé

We demonstrate an optimized homogeneous tensile-strain transfer into germanium microdisks up to around 1.5% biaxial strain. This is achieved by combining a bonding technique and an all-around deposition of strained silicon nitride.

langue originaleAnglais
titreIEEE International Conference on Group IV Photonics GFP
EditeurIEEE Computer Society
Pages229-230
Nombre de pages2
ISBN (Electronique)9781479922833
Les DOIs
étatPublié - 18 nov. 2014
Evénement11th International Conference on Group IV Photonics, GFP 2014 - Paris, France
Durée: 27 août 201429 août 2014

Série de publications

NomIEEE International Conference on Group IV Photonics GFP
ISSN (imprimé)1949-2081

Une conférence

Une conférence11th International Conference on Group IV Photonics, GFP 2014
Pays/TerritoireFrance
La villeParis
période27/08/1429/08/14

Empreinte digitale

Examiner les sujets de recherche de « High tensile strain transfer into germanium microdisks using all-around strained SiN ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.

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