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Lateral porous alumina templates for planar organisation of carbon nanotubes and semiconductor nanowires

  • Samsung Electronics Co. Ltd.

Résultats de recherche: Le chapitre dans un livre, un rapport, une anthologie ou une collectionContribution à une conférenceRevue par des pairs

Résumé

We present some of our first experiments on the controlled growth of silicon nanowires and carbon nanotubes in lateral porous alumina templates synthesized by anodic oxidation of Al thin films. Under adapted chemical vapor deposition growth conditions, and using the vapor-solid-liquid mechanism, the pores of the lateral membranes can be partially filled with silicon nanowires or carbon nanotubes, yielding a composite thin film of parallel-organized nano-objects. Such composite thin films can be further tailored and shaped by classical microelectronic-type tools and processes, in order to fabricate electronic devices.

langue originaleAnglais
titre2009 International Conference on Semiconductor Technology for Ultra Large Scale Integrated Circuits and Thin Film Transistors, ULSIC vs. TFT
EditeurElectrochemical Society Inc.
Pages305-316
Nombre de pages12
Edition1
ISBN (Electronique)9781607680857
ISBN (imprimé)9781607682646
Les DOIs
étatPublié - 1 janv. 2009
Evénement2nd International Conference on Semiconductor Technology for Ultra Large Integrated Circuits and Thin Film Transistors, ULSIC vs. TFT II - Xian, Chine
Durée: 5 juil. 200910 juil. 2009

Série de publications

NomECS Transactions
nombre1
Volume22
ISSN (imprimé)1938-5862
ISSN (Electronique)1938-6737

Une conférence

Une conférence2nd International Conference on Semiconductor Technology for Ultra Large Integrated Circuits and Thin Film Transistors, ULSIC vs. TFT II
Pays/TerritoireChine
La villeXian
période5/07/0910/07/09

Empreinte digitale

Examiner les sujets de recherche de « Lateral porous alumina templates for planar organisation of carbon nanotubes and semiconductor nanowires ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.

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