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Nanoporous alumina templates for nanowire electron devices

  • Laboratoire des Solides Irradiés
  • Institut polytechnique de Paris

Résultats de recherche: Le chapitre dans un livre, un rapport, une anthologie ou une collectionChapitreRevue par des pairs

Résumé

Nanoporous alumina templates are demonstrated as device structures for nanowire field-effect transistors (FETs). A ZnO nanowire surroundinggate FET demonstrates the utility of this nanostructured template. This bottom-up approach is unique in that the fabrication can be almost entirely done using room temperature electrochemistry. The technique is extended to lateral anodized nanoporous aluminum thin-films, compatible with standard silicon technology and illustrated by the possible fabrication of an active matrix backplane with only four lithographic masks.

langue originaleAnglais
titreNanostructures in Electronics and Photonics
EditeurPan Stanford Publishing Pte. Ltd.
Pages41-61
Nombre de pages21
ISBN (imprimé)9789814241106
Les DOIs
étatPublié - 1 avr. 2008

Empreinte digitale

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